產(chǎn)品分類(lèi)
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簡(jiǎn)要描述:日本MEG對(duì)齊單元X9113A-C用于光學(xué)或機(jī)械系統(tǒng)的精密對(duì)齊(Alignment),常見(jiàn)于半導(dǎo)體設(shè)備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測(cè)儀器等需要微米級(jí)定位的場(chǎng)景。精密儀器制造商,專(zhuān)注于光學(xué)、電子測(cè)量設(shè)備。緊湊節(jié)省空間,高速運(yùn)行,備有帶馬達(dá)型號(hào)、外部驅(qū)動(dòng)型號(hào),此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。
深圳納加霍里科技專(zhuān)業(yè)代理銷(xiāo)售日本MEG對(duì)齊單元X9113A-C 產(chǎn)品特點(diǎn)如下:
日本MEG對(duì)齊單元X9113A-C用于光學(xué)或機(jī)械系統(tǒng)的精密對(duì)齊(Alignment),常見(jiàn)于半導(dǎo)體設(shè)備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測(cè)儀器等需要微米級(jí)定位的場(chǎng)景。
精密儀器制造商,專(zhuān)注于光學(xué)、電子測(cè)量設(shè)備。
小型緩沖類(lèi)型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運(yùn)行,備有帶馬達(dá)型號(hào)、外部驅(qū)動(dòng)型號(hào),此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等
備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動(dòng)方式等多種種類(lèi)。
小型類(lèi)型的基本機(jī)構(gòu)原封不動(dòng),實(shí)體從上側(cè)用M3螺絲能安裝的模型,小型A型還備有可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達(dá)型號(hào)。
這是一種小型類(lèi)型,有多年的經(jīng)驗(yàn),本體安裝,利用本體背面的M2抽頭,備有帶M2螺絲5相步進(jìn)馬達(dá)和外部驅(qū)動(dòng)的連接類(lèi)型。
小型A型的基本機(jī)構(gòu)是原封不動(dòng)地從本體側(cè)面拿出鰭片的模型,主體上面沒(méi)有角孔,小型AP類(lèi)型還準(zhǔn)備了可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達(dá)型號(hào),主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊。
核心功能
高精度調(diào)整:通過(guò)精密機(jī)械結(jié)構(gòu)或壓電驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)(可能達(dá)0.1μm以下)的位置校準(zhǔn)。
多軸控制:可能支持X/Y/Z三軸或傾斜(θx/θy)方向的獨(dú)立調(diào)整。
集成傳感器:部分型號(hào)內(nèi)置位移傳感器或光學(xué)編碼器,實(shí)時(shí)反饋位置信息。
兼容性:適配多種光學(xué)元件(透鏡、反射鏡)或機(jī)械組件。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:光刻機(jī)組件對(duì)齊。
激光加工:光束路徑校準(zhǔn)。
科研儀器:干涉儀、顯微鏡的樣品臺(tái)定位。
產(chǎn)品特點(diǎn)
剛性設(shè)計(jì):鋁合金或不銹鋼材質(zhì),確保穩(wěn)定性。
防震設(shè)計(jì):減少環(huán)境振動(dòng)影響。
模塊化:可與其他MEG單元組合使用(如旋轉(zhuǎn)臺(tái)X系列)
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
---|---|
調(diào)整范圍 | ±5mm(線性軸) |
分辨率 | 0.1μm |
重復(fù)精度 | ±0.2μm |
負(fù)載能力 | 5kg(需確認(rèn)) |
驅(qū)動(dòng)方式 | 手動(dòng)微調(diào)或電動(dòng)驅(qū)動(dòng) |
接口 | RS-232/USB |
規(guī)格
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